光盤(pán)生產(chǎn)考試問(wèn)答題每日一練(2019.01.20)

（1）檢查大小mask是否有發(fā)黑、短路的地方，如有，更換mask；
（2）清理靶材邊緣，清理濺鍍倉(cāng)。

（1）檢查母盤(pán)數(shù)量；
（2）檢查白片溝深、溝寬、厚度；
（3）檢查OD；
（4）更換染料；
（5）更換母盤(pán)。