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SAW氣敏傳感器中,吸附膜吸收了環(huán)境中的某種特定氣體,使基片表面性質(zhì)發(fā)生變化,導(dǎo)致SAW振蕩器振蕩頻率發(fā)生變化,通過(guò)測(cè)量頻率的變化就可檢測(cè)特定氣體成分的含量。
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