問答題

【簡答題】根據(jù)空位機制下的總擴散系數(shù)公式，給出本征硅，低濃度摻雜，N型重摻雜及P型重摻雜下的擴散系數(shù)公式。

答案： 本征硅的擴散系數(shù)：硅中空位主要是中性空位；
低摻雜（本征）下的擴散系數(shù)：雜質(zhì)濃度與本征載流子濃度幾乎相等（n=...
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問答題

【簡答題】列出并解釋替位雜質(zhì)在硅中的三種主要擴散機制。
答案： 直接交換，空位交換，間隙擴散：替位雜質(zhì)在硅中擴散的第三個重要機制取決于硅自填隙原子的存在。
問答題

【簡答題】試說明擴散工藝中常用的擴散摻雜方法，并說明當前實際工藝中使用的主要方法及理由。
答案： 固態(tài)源擴散、液態(tài)源擴散和氣態(tài)源擴散。
硼和磷在室溫，低蒸汽壓下是固態(tài)的，很難熔化或蒸發(fā)，且用固態(tài)雜質(zhì)源也很難控...
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