A.激光器 B.光學系統(tǒng) C.機械系統(tǒng) D.控制系統(tǒng) E.加溫系統(tǒng)
A.加工參數(shù) B.加工環(huán)境 C.加工溫度 D.加工時間 E.加工質量
A.超精密加工機理與工藝方法 B.超精密加工機床設備 C.超精密加工工具 D.測量補償 E.誤差補償