問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】什么是關(guān)鍵尺寸(CD)?

答案: 芯片上的物理尺寸特征稱為特征尺寸,特別是硅片上的最小特征尺寸,也稱為關(guān)鍵尺寸或CD
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