判斷題

離子注入能夠重復控制雜質(zhì)的濃度和深度，因而在幾乎所有應用中都優(yōu)于擴散。

答案：錯誤

你可能感興趣的試題

熱擴散中的橫向擴散通常是縱向結(jié)深的75%~85%。先進的MOS電路不希望發(fā)生橫向擴散，因為它會導致溝道長度的減小，影響器件的集成度和性能。

答案：正確

在各向同性刻蝕時，薄膜的厚度應該大致大于或等于所要求分辨率的三分之一。如果圖形所要求的分辨率遠小于薄膜厚度，則必須采用各向異性刻蝕。

答案：錯誤