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填空題
激光干涉儀光路系統(tǒng)主要包括：（）。常用的光源為（）激光器：（激光的功率和頻率穩(wěn)定性高、連續(xù)方式運(yùn)轉(zhuǎn)、在可見(jiàn)光和紅外光區(qū)域有譜線）。
答案：
光源、分束器和反射器；He-Ne
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述單頻激光干涉儀組成。
答案：
1.激光干涉儀光路系統(tǒng)
2.干涉條紋計(jì)數(shù)和處理測(cè)量結(jié)果的電子系統(tǒng)
3.機(jī)械系統(tǒng)
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