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【簡答題】工廠中硅片(wafer)的制造過程可分哪幾個工藝過程(module)?
答案:
主要有四個部分:DIFF(擴散)、TF(薄膜)、PHOTO(光刻)、ETCH(刻蝕)。其中DIFF又包括FURNACE(...
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