填空題

離子注入的兩種阻滯機制：（）

答案： 原子核阻滯和電子阻滯
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問答題

【簡答題】離子注入工藝和擴散工藝相比的優(yōu)點
答案： 溫度低，使用PR遮蔽層（擴散硬遮蔽層），非等向性摻雜輪廓，可獨立控制摻雜濃度和結深，批量及單晶圓工藝（擴散為單晶圓工藝）
名詞解釋

平均自由程
答案： 粒子和粒子碰撞前能夠移動的平均距離。
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