判斷題

曝光波長(zhǎng)的縮短可以使光刻分辨率線性提高，但同時(shí)會(huì)使焦深線性減小。如果增大投影物鏡的數(shù)值孔徑，那么在提高光刻分辨率的同時(shí)，投影物鏡的焦深也會(huì)急劇減小，因此在分辨率和焦深之間必須折衷。

答案： 正確
微信掃碼免費(fèi)搜題