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問答題
【簡答題】為什么要引入離子注入技術(shù)，離子注入技術(shù)有哪些優(yōu)勢？
答案：
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問答題
【簡答題】影響擴散速率的因素有哪些？
答案：
①晶體內(nèi)雜質(zhì)濃度梯度；
②環(huán)境溫度；
③雜質(zhì)本身結(jié)構(gòu)、性質(zhì)；
④晶體襯底的結(jié)構(gòu)。
