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測量檢測主要有光切法、干涉法、針描法等。
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當(dāng)被測表面非常光滑時,即超精密表面,就必須采用適當(dāng)?shù)膬x器進(jìn)行測量檢測。
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當(dāng)被測表面比較光滑時,可借助比較樣塊通過視覺或觸覺進(jìn)行比較檢測。
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