A.清洗、襯背及導(dǎo)電化B.鈍化、電鑄及清洗C.清洗、鈍化及導(dǎo)電化
A.能量密度很高B.束斑極小C.有污染
A.離子注入效應(yīng)B.濺射效應(yīng)C.離子沉積效應(yīng)