填空題

肖特基接觸呈現(xiàn)(),肖特基結的高低由()差決定;歐姆接觸呈現(xiàn)()特性,接觸電阻可以低到10-7歐姆·厘米。IC的互連線金屬要求與半導體襯底實現(xiàn)(),所以,源、漏、多晶硅等的摻雜濃度必須高于()。

答案: 二極管特性;金屬功函數和半導體表面功函數;線性;歐姆接觸;1020/cm3
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填空題

金屬-半導體接觸分:()三種。當半導體襯底濃度 低于()時,只能產生(),當半導體襯底濃度 高于()時 可實現(xiàn)()。

答案: 肖特基接觸、歐姆接觸和合金接觸;1017/cm3;肖特基接觸;1020/cm3;歐姆接觸
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