半導(dǎo)體芯片制造工章節(jié)練習(2019.06.25)
來源:考試資料網(wǎng)
參考答案:擴散效應(yīng)是指襯底中的雜質(zhì)與外延層中的雜質(zhì),在外延生長時互相擴散,引起襯底與外延層界面附近雜質(zhì)濃度的緩慢變化。擴散效應(yīng)對界... 參考答案:結(jié)晶形SiO2——由Si-O四面體在空間規(guī)則排列構(gòu)成每個頂角的O原子與兩個... 參考答案:固相外延是指半導(dǎo)體單晶上的非晶層在低于該材料的熔點或共晶點溫度下外延再結(jié)晶的過程。固相外延存在問題—&mda...