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問答題
【簡答題】簡述離子注入的原理？
答案：
離子注入是離子被強電場加速后注入靶中，離子受靶原子阻止，停留其中，經(jīng)退火后雜質(zhì)進入替位、電離成為具有電活性的雜質(zhì)。這一過...
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問答題
【簡答題】影響擴散速率的因素有哪些？
答案：
①晶體內(nèi)雜質(zhì)濃度梯度；
②環(huán)境溫度；
③雜質(zhì)本身結(jié)構(gòu)、性質(zhì)；
④晶體襯底的結(jié)構(gòu)。
