問答題

【簡答題】MOS工藝包括有哪幾種?MOS工藝的重要參數(shù)是什么?什么是特征尺寸?

答案:

PMOS、NMOS、COMS、BiCMOS
溝道載流子特性、柵極材料、金屬層數(shù)、特征尺寸工藝可以實現(xiàn)的平面結構的最小尺寸

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