電致伸縮器件具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、分辨率高、無發(fā)熱現(xiàn)象、控制簡單等特點(diǎn)。已廣泛應(yīng)用于各種微位移工作臺(tái)中。
大型超精密金剛石DTM-3型車床和大型超精密車床LODTM。
干涉法;水平面法。