A、整罩分光特性超差 B、均勻性不好 C、表面不好 D、膜層牢固度不好
A.20分鐘 B.30分鐘 C.40分鐘 D.50分鐘
A、電子槍光斑的位置 B、電子槍光斑的形狀、大小 C、真空度不穩(wěn)定 D、修正板的形狀和上升高度
A、光學膜厚儀控制 B、電子槍控制 C、晶振膜厚儀控制 D、電腦控制
A、蒸發(fā)速率 B、蒸發(fā)溫度 C、真空度 D、膜層厚度
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